真空泵分為氣體輸送泵和氣體吸附或捕集泵。氣體輸送式真 空泵可以連續使用,而氣體吸附真空泵具有有限的氣體吸收 能力,并且必須在一定的過程時間間隔進行再生。
氣體輸送泵,分為容積式真空泵和動量傳遞真空泵。容積泵 將密封空間中的氣體排到大氣或下級泵中。動量傳遞泵通過 機械驅動或蒸汽射流在運動方向對氣體進行加速來抽出氣。 氣體吸附真空泵通過吸氣或在合適溫度冷凝氣體的方式將氣 體吸附到特別的活性表面上。吸附泵通過蒸發和/或升華或濺 射不斷地產生純凈的吸氣面。如果要抽出的氣體粒子在與吸 氣面進行相互作用之前在離子泵中被電離了,則它們在濺射 清潔吸氣面的同時被濺射的材料掩蓋。非蒸散型吸氣劑 (NEG) 包括高反應性的合金,其主要由鋯或鈦組成,并且具 有非常大的比表面積。 氣體可以通過微孔滲透到吸氣材料的 深層內部,并在那里結合成穩定的化合物。